氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險性，在應(yīng)用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；
因此,電力行業(yè)對高壓電氣設(shè)備及其配套產(chǎn)品在密封性能上要求極高，氦質(zhì)譜正壓檢漏法。給被檢件內(nèi)腔充入與設(shè)備工作壓力相同的氦氣,置入封閉容器中,將封閉容器與氫質(zhì)譜檢漏儀連通，待氦質(zhì)譜檢漏儀指示可檢時,被檢件內(nèi)的氦分子在壓差的作用下通過漏孔進(jìn)入設(shè)備內(nèi)的質(zhì)譜室，氦質(zhì)譜檢漏儀經(jīng)過分析后自動指示出被檢件的漏率。氦質(zhì)譜負(fù)壓檢漏法，將被檢件裝在氦質(zhì)譜檢漏儀上，對被檢件抽真空，當(dāng)達(dá)到檢漏儀的開檢壓力后，對被檢件漏點處噴氦氣，氦分子在壓差的作用下通過漏孔進(jìn)入設(shè)備內(nèi)的質(zhì)譜室,氦質(zhì)譜檢漏儀經(jīng)過分析后自動指示出被檢件的漏率
氦氣檢漏儀可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；檢漏儀啟動時間：≤5min。響應(yīng)時間：≤1s檢漏口的。高壓力：1500Pa。電源要求：220v，50Hz，單相，10A。工作環(huán)境：5-35℃檢漏儀自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
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